臭氧是氧的同素異形體，在常溫下，它是一種有特殊臭味的藍色氣體。臭氧主要存在于距地球表面20~35公里的同溫層下部的臭氧層中。在常溫常壓下，穩定性極差，在常溫下可自行分解為氧氣。臭氧具有強烈的刺激性，吸入過量對人體健康有一定危害。不可燃。化學性質是單質。純凈物。
臭氧檢測儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
臭氧檢測儀原理大致可分為化學分析法和儀器法兩大類。
儀器法檢測臭氧原理有半導體原理（英國E2V）、電化學檢測原理、紫外光法原理等。這里主要來介紹的是第三種方法，即紫外光法。
儀器法檢測臭氧的優點在于靈敏度高，重復性好，對操作者水平要求也不高，是一種較好的方法，但是因為此類儀器原來一般價格昂貴，不易普及使用。山美水美公司經過多年努力，在提高質量的過程中，通過規模采購，不斷降低臭氧檢測儀價格。使越來越多的客戶使用上臭氧檢測儀器。現在終于得到大規模普及使用。'
儀器檢測臭氧濃度的原理是采用化學發光法、紫外線吸收法和電化學法。因化學發光法須配用乙烯氣瓶，乙烯又是可燃物，既危險又不方便，所以近年來國際上常用的是紫外線吸收法和電化學法。
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